Вакуум бүрэх – Одоо байгаа болор бүрэх арга
Бүтээгдэхүүний тодорхойлолт
Одоо байгаа болор бүрэх арга нь: том талстыг тэнцүү талбайтай дунд талст болгон хувааж, дараа нь олон тооны дунд талстыг овоолж, зэргэлдээ хоёр дунд талстыг цавуугаар холбох; Дахин ижил хэмжээтэй овоолсон жижиг талстуудыг олон бүлэгт хуваа; жижиг талстуудын стекийг авч, дугуй хөндлөн огтлолтой жижиг талстыг авахын тулд олон жижиг талстуудын захын талыг өнгөлөх; салгах; жижиг талстуудын аль нэгийг нь авч, жижиг талстуудын тойргийн хажуугийн хананд хамгаалалтын цавуу түрхэх; жижиг талстуудын урд ба/эсвэл урвуу талыг бүрэх; эцсийн бүтээгдэхүүнийг авахын тулд жижиг талстуудын тойргийн талууд дээрх хамгаалалтын цавууг арилгах.
Одоо байгаа болор бүрэх боловсруулах арга нь вафельны хажуугийн тойргийн ханыг хамгаалах шаардлагатай. Жижиг ялтсуудын хувьд цавуу түрхэх үед дээд доод гадаргууг бохирдуулах нь амархан бөгөөд үйл ажиллагаа нь тийм ч хялбар биш юм. Кристалын урд болон хойд хэсгийг бүрсэн үед Төгсгөлийн дараа хамгаалалтын цавууг угаах шаардлагатай бөгөөд үйл ажиллагааны үе шатууд нь төвөгтэй байдаг.
Арга зүй
Кристалыг бүрэх арга нь дараахь зүйлийг агуулна.
●Урьдчилан тогтоосон зүсэлтийн контурын дагуу, эхний завсрын бүтээгдэхүүнийг авахын тулд субстратын дотор өөрчлөгдсөн зүсэлтийг хийхийн тулд субстратын дээд гадаргуугаас лазерыг ашиглан;
●Хоёрдахь завсрын бүтээгдэхүүнийг авахын тулд эхний завсрын бүтээгдэхүүний дээд ба/эсвэл доод гадаргууг бүрэх;
●Урьдчилан тогтоосон зүсэлтийн контурын дагуу хоёр дахь завсрын бүтээгдэхүүний дээд гадаргууг лазераар зурж, зүсэж, вафель нь хуваагдсан тул зорилтот бүтээгдэхүүнийг үлдэгдэл материалаас тусгаарлана.
