20-р зууны эхээр болор өсөлтийн үйл явцыг хянахын тулд орчин үеийн шинжлэх ухаан, технологийн зарчмуудыг тасралтгүй ашиглаж, болор өсөлт нь урлагаас шинжлэх ухаан руу хөгжиж эхэлсэн.Ялангуяа 1950-иад оноос хойш нэг талст цахиураар дүрслэгдсэн хагас дамжуулагч материалыг хөгжүүлснээр болор өсөлтийн онол, технологи хөгжихөд түлхэц өгсөн.Сүүлийн жилүүдэд төрөл бүрийн нийлмэл хагас дамжуулагч болон бусад электрон материалууд, оптоэлектроник материалууд, шугаман бус оптик материалууд, хэт дамжуулагч материалууд, төмөр цахилгаан материалууд, металлын нэг болор материалууд бий болсон нь олон тооны онолын асуудлуудыг бий болгоход хүргэсэн.Болор ургуулах технологид улам бүр нарийн төвөгтэй шаардлага тавигдаж байна.Кристал өсөлтийн зарчим, технологийн судалгаа улам бүр чухал болж, орчин үеийн шинжлэх ухаан, технологийн чухал салбар болжээ.
Одоогийн байдлаар болор өсөлт нь аажмаар шинжлэх ухааны цуврал онолуудыг бий болгож, болор өсөлтийн үйл явцыг хянахад ашигладаг.Гэсэн хэдий ч энэ онолын систем хараахан төгс болоогүй, туршлагаас хамаарах маш олон агуулга байсаар байна.Тиймээс хиймэл болор ургалтыг ерөнхийд нь гар урлал, шинжлэх ухааны хосолсон зүйл гэж үздэг.
Бүрэн талстыг бэлтгэхийн тулд дараахь нөхцлийг хангана.
1. Урвалын системийн температурыг жигд хянаж байх ёстой.Орон нутгийн хэт хөргөлт эсвэл хэт халалтаас урьдчилан сэргийлэхийн тулд энэ нь талстуудын бөөмжилт, өсөлтөд нөлөөлнө.
2. Талсжих процесс нь аяндаа бөөм үүсэхээс сэргийлж аль болох удаан явагдах ёстой.Учир нь аяндаа бөөм үүсэх үед олон нарийн ширхэгт тоосонцор үүсч, талст өсөлтөд саад болно.
3. Хөргөлтийн хурдыг болор бөөмжилт ба өсөлтийн хурдтай тааруулна.Талстууд жигд ургадаг, талст дахь концентрацийн градиент байхгүй, найрлага нь химийн пропорциональ байдлаас гаждаггүй.
Кристал өсөлтийн аргуудыг үндсэн фазын төрлөөр нь хайлмал өсөлт, уусмалын өсөлт, уурын фазын өсөлт, хатуу фазын өсөлт зэрэг дөрвөн ангилалд ангилж болно.Эдгээр дөрвөн төрлийн талст өсөлтийн аргууд нь хяналтын нөхцлийн өөрчлөлттэй олон арван талст ургуулах арга техник болж хөгжсөн.
Ерөнхийдөө болор өсөлтийн бүх үйл явц задарч байвал дор хаяж дараах үндсэн процессуудыг багтаасан байх ёстой: ууссан бодис уусах, талст өсөлтийн нэгж үүсэх, өсөлтийн орчинд талст өсөлтийн нэгжийг тээвэрлэх, талст өсөлт. болор гадаргуу дээрх элемент ба болор өсөлтийн интерфейсийн шилжилт, ингэснээр болор өсөлтийг мэдрэх.
Шуудангийн цаг: 2022 оны 12-р сарын 07